迷你快换

ModelSVS

复动
0.35～0.7MPa

SVS
面向半导体制造工序而开发的迷你快换
可高精度快换设备前端的工具或喷嘴，缩短工序交换时间。
附带有即使在气压为零时也可保持连接状态的机械自锁功能。
可搬运重量：1kg, 7kg　位置还原精度：5μm

产品情报

■特长

特长

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机械手快换装置：可搬重量 3 ~ 360kg

SWR

ModelSWR

复动

0.35～1MPa
机械手快换装置
弹簧夹紧/气压释放

STR

ModelSTR

单动

0.35～0.7MPa
手动定位装置
【重复定位精度：3μm】

VXE/VXF

ModelVXE/VXF

手动