コンパクトチェンジャー

ModelSVS

複動
0.35～0.7MPa

SVS
半導体製造プロセス向けに開発されたコンパクトチェンジャー
設備先端のツールやノズルを高精度で交換し、段取時間を短縮します。
エアゼロ時でも連結状態を保持するメカニカルロック機能付き。
可搬質量：1kg, 7kg　位置再現精度：5μm
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